...
首页> 外文期刊>Микроэлектроника >ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ УСЛОВИЙ НА ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ И ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ В МАКЕТЕ ВЧ ГИБРИДНОЙ ПЛАЗМЕННОЙ СИСТЕМЫ
【24h】

ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ УСЛОВИЙ НА ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ И ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ В МАКЕТЕ ВЧ ГИБРИДНОЙ ПЛАЗМЕННОЙ СИСТЕМЫ

机译:HF混合等离子体系统布局中外部条件对物理过程和等离子体参数的影响

获取原文
获取原文并翻译 | 示例

摘要

Представлены результаты экспериментального исследования параметров плазмы "геликонного" разряда в макете ВЧ гибридной плазменной системы, оснащенном соленоидальной антенной. Показано, что с ростом величины внешнего магнитного поля происходит формирование плазменного "столба" и смещение максимальных значений ионного тока по оси разряда в сторону нижнего фланца макета. Изменение конфигурации магнитного поля позволяет управлять формой плазменного столба.
机译:提出了在装备有螺线管天线的RF混合等离子体系统原型中对“螺旋”放电的等离子体参数进行实验研究的结果。结果表明,随着外部磁场强度的增加,出现了等离子体``柱'',并且离子电流的最大值沿着放电轴朝着布局的下凸缘移动。更改磁场的配置可让您控制等离子柱的形状。

著录项

  • 来源
    《Микроэлектроника 》 |2016年第6期| 471-479| 共9页
  • 作者单位

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

    Московский государственный университет им. Ломоносова Открытое акционерное общество 'Научно-исследовательский институт точного машиностроения';

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 rus
  • 中图分类
  • 关键词

获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号