ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПОРИСТОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ АНОДОВ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ НА ИХ ЗАРЯДНО-РАЗРЯДНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

摘要

Исследуется влияние пористости на зарядно-разрядные характеристики тонких пленок на основе нанокомпозита Si-O-Al с двумя типами структуры - однородной и столбчатой. Дополнительное увеличение пористости тонких пленок Si-O-Al, достигается удалением фазы SiO_x, где 1 ＜ x ≤2, при травлении в растворе плавиковой кислоты. Зарядно-разрядные характеристики пленок исследовались в макетах полуэлементов в гальваностатическом режиме. Показано, что обработка пленок, имеющих столбчатую структуру, приводит к увеличению их удельной емкости и стойкости при экстремальных режимах заряда-разряда.