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机译:使用X射线光刻技术制造的闪耀衍射光栅:制造,建模和仿真
Optelec, 11, Chrys. Smyrnis Street, GR-546 22 Thessalonlki, Greece;
机译:通过电子束光刻制造的用于紫罗兰色波长的高效闪耀衍射光学元件
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机译:基于软X射线和深X射线光刻的两步高度放大工艺对锋利的火焰光栅进行微加工
机译:严格优化的相位掩模在具有衍射近似光刻技术的二元和闪耀光栅制造中的应用
机译:多层X射线衍射光栅的制造,测量和分析。
机译:X射线自由电子激光器的闪耀衍射光栅和掠入射光学器件的损伤阈值
机译:通过热活性选择性地形平衡制造的闪光反射光栅的极端紫外和软X射线衍射效率