机译:包括自热在内的压阻MEMS谐振器的温度稳定性
机译:使用压阻谐振器的高频FM MEMS加速度计
机译:压阻检测低阻抗ALD HfO2部分填充间隙挠曲和体MEMS谐振器,以进行分布式质量传感
机译:双端音叉SOI MEMS谐振器中的压阻转换,可增强线性电性能
机译:具有SUB PPM /°C热稳定性的CMOS-MEMS热压敏电阻的有效温度补偿算法
机译:晶圆级薄膜封装的MEMS谐振器的稳定性和性能。
机译:使用温度补偿MEMS压阻悬臂测量微水流量测量
机译:电热和压电驱动的碳化硅mEms谐振器的温度稳定性