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机译:静电驱动MEMS器件中介电电荷的评估:可用表征技术的比较
CNRS, LAAS. 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse, France Universite de Toulouse, UPS, INSA INP, ISAE, LAAS, F-31077 Toulouse, France;
rnUniversite de Toulouse, UPS, INSA INP, ISAE, LAAS, F-31077 Toulouse, France;
rnCNRS, LAAS. 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse, France Universite de Toulouse, UPS, INSA INP, ISAE, LAAS, F-31077 Toulouse, France;
rnCNRS, LAAS. 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse, France Universite de Toulouse, UPS, INSA INP, ISAE, LAAS, F-31077 Toulouse, France Novamems, 10 Avenue De I' Europe. F-31520 Toulouse, France;
rnCNRS, LAAS. 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse, France Universite de Toulouse, UPS, INSA INP, ISAE, LAAS, F-31077 Toulouse, France University of Athens, Solid State Physics, Panepistimiopolis, Zografos, Athens, Greece;
rnCNRS, LAAS. 7 Avenue du Colonel Roche, F-31077 Toulouse, France Universite de Toulouse, UPS, INSA INP, ISAE, LAAS, F-31077 Toulouse, France;
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