机译:探索扫描电子显微镜在纳米范围内光致抗蚀剂结构的关键尺寸度量衡方面的局限性
ETH Zurich, Integrated Systems Laboratory, Zurich, Switzerland;
ETH Zurich, Integrated Systems Laboratory, Zurich, Switzerland;
ETH Zurich, Integrated Systems Laboratory, Zurich, Switzerland;
Scanning electron microscopy; Monte Carlo simulation; Metrology of nano structures;
机译:解析扫描电镜在纳米尺度临界尺寸测量中的应用
机译:对在线临界尺寸度量的散射测量和扫描电子显微镜度量中的生产者和消费者风险的评估
机译:用于计量学应用的扫描电子显微镜图像的蒙特卡洛模拟中用于描述复杂三维样品几何形状的非结构化四面体网格
机译:临界尺寸扫描电子显微镜在纳米尺度上提取粗糙度参数的蒙特卡洛模型
机译:A部分。学习模型的维度对在普通化学实验室攻读学士学位的前医学生的学生的认识论信念的影响,以及B部分。利用TRI Explorer和USGS水数据进行环境质量调查以及分析和使用扫描电子显微镜表征颗粒物。
机译:相关光和扫描电镜观察膜细胞器的三维超微结构及其分子组成
机译:亚微米微电子学的尺寸计量学:扫描电子显微镜