机译:各种块状半导体材料中固体浸没透镜的高效,灵活的聚焦离子束微加工-自适应校准算法
Technische Universitaet Berlin, Strasse des 17. Juni 135, 10623 Berlin, Germany;
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DCG Systems, 3400 West Warren Avenue, Fremont, CA 94538, USA;
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Focused Ion Beam; Solid Immersion Lenses; Refractive optical elements; Iterative development; FIB micromachining;
机译:使用实验设计优化聚焦离子束创建的块状硅固体浸没透镜
机译:通过聚焦离子束铣削在单个缺陷中心周围制造出微观金刚石固体浸没透镜
机译:互连材料聚焦离子束微加工的改进
机译:使用聚焦离子束背面编辑技术在块状硅中创建固态浸没透镜
机译:微机械固体浸没透镜和光学天线,用于扫描近场光学显微镜。
机译:勘误表:De TeresaJ.M。等。室温和低温条件下聚焦电子/离子束诱导沉积的比较。微型机械201910799
机译:微观金刚石固体浸没透镜围绕单个制造 通过聚焦离子束铣削来制造缺陷