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机译:具有多个离子束的精密纳米加工,可用于高级电路
Carl Zeiss Microscopy, LLC, One Corporation Way, Peabody, MA 01960, USA;
Carl Zeiss Microscopy, LLC, One Corporation Way, Peabody, MA 01960, USA;
Carl Zeiss Microscopy, LLC, One Corporation Way, Peabody, MA 01960, USA;
Nanofabrication; Helium ion beam microscope; Beam chemistry; Metal deposition; Milling; Endpoint detection;
机译:聚焦氦离子束沉积的具有10 nm分辨率的低电阻率钴金属线:对高级电路编辑的影响
机译:使用强力聚焦光束通过先进的电子显微镜进行纳米加工
机译:大规模复用束笔光刻的桌面纳米加工
机译:氦气和霓虹离子束化学对先进电路编辑的影响
机译:通过新型纳米加工技术实现的分层多位簇和图案化介质-高分辨率电子束光刻和嵌段聚合物自组装。
机译:使用强光束和聚焦光束通过先进的电子显微镜进行纳米加工*
机译:使用三离子梁(GA,HE和NE)系统和气体喷射系统(GIS)的电路编辑和故障分析应用
机译:半导体光放大器在波分复用光子集成电路中的集成。选区化学束外延的应用。