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Temperature impact on inductance and resistance values of a coreless inductor (Cu/Al2O3)

机译:温度对无芯电感器(Cu / Al2O3)的电感和电阻值的影响

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摘要

This article is devoted to the inductance and resistance evolution of a coreless inductor depending on temperature. The inductors are fabricated of thin copper films deposited on an alumina substrate and characterized up to 10 MHz with an impedance analyzer. Two types of measurements are carried out: after inductor annealing and in a thermal cycle (25-200 degrees C).
机译:本文专门研究无芯电感器的电感和电阻随温度的变化。电感器由沉积在氧化铝基板上的铜薄膜制成,并通过阻抗分析仪进行了高达10 MHz的表征。进行两种类型的测量:电感器退火后和热循环(25-200摄氏度)中。

著录项

  • 来源
    《Microelectronics & Reliability》 |2017年第5期|30-33|共4页
  • 作者单位

    Univ Jean Monnet, Lab Hubert Curien, UMR CNRS 5516, 18 Rue Prof Benoit Lauras, F-42000 St Etienne, France|3 Rue Chocolaterie, F-41000 Blois, France;

    Univ Jean Monnet, Lab Hubert Curien, UMR CNRS 5516, 18 Rue Prof Benoit Lauras, F-42000 St Etienne, France;

    Univ Jean Monnet, Lab Hubert Curien, UMR CNRS 5516, 18 Rue Prof Benoit Lauras, F-42000 St Etienne, France;

    Univ Jean Monnet, Lab Hubert Curien, UMR CNRS 5516, 18 Rue Prof Benoit Lauras, F-42000 St Etienne, France;

    Univ Jean Monnet, Lab Hubert Curien, UMR CNRS 5516, 18 Rue Prof Benoit Lauras, F-42000 St Etienne, France;

    Univ Jean Monnet, Lab Hubert Curien, UMR CNRS 5516, 18 Rue Prof Benoit Lauras, F-42000 St Etienne, France;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    Thermal resistance; Inductor; Inductance; Reliability; High temperature; Copper; Thin films;

    机译:热阻;电感;电感;可靠性;高温;铜;薄膜;

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