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Review of bias-temperature instabilities at the Ⅲ-N/dielectric interface

机译:Ⅲ-N/介电界面的偏压温度不稳定性综述

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摘要

Two particular defects are commonly discussed at the III-N interface: the required donor states, known to exist from the formation of the two-dimensional electron gas (2DEG) below a hetero-barrier, and defect states at the interface or within the dielectric layer. It appears that the latter ones are responsible for the ongoing challenge to find a low-defect gate dielectric to reduce positive bias temperature instabilities (PBTI). This raises the question, why the natively given donor states behave almost like fixed charges. We review the known and verified characteristics for both defect types and the link between them. Moreover, we define a lifetime criterion for power switching applications to compare PBTI effects related to III-N interfaces.
机译:通常在III-N界面上讨论两种特定的缺陷:所需的施主态(已知是由于形成了异质势垒以下的二维电子气(2DEG)而存在)以及界面或电介质内的缺陷态层。似乎后者是导致寻找低缺陷栅极电介质以减少正偏压温度不稳定性(PBTI)的挑战。这就提出了一个问题,为什么原本给定的捐助国表现得几乎像固定收费。我们回顾了两种缺陷类型及其之间的联系的已知和验证特征。此外,我们为电源开关应用定义了寿命准则,以比较与III-N接口有关的PBTI效应。

著录项

  • 来源
    《Microelectronics & Reliability》 |2018年第3期|62-83|共22页
  • 作者单位

    Infineon Technol Austria AG, Siemensstr 2, A-9500 Villach, Austria;

    Infineon Technol Austria AG, Siemensstr 2, A-9500 Villach, Austria;

    Infineon Technol Austria AG, Siemensstr 2, A-9500 Villach, Austria;

    TU Wien, Inst Solid State Elect, Floragasse 4, A-1040 Vienna, Austria;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    PBTI; GaN; Interface; MIS-HEMT;

    机译:BTI;GaN;接口;MIS-HEMT;

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