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机译:结合体硅微加工和UV-LIGA技术的多层微结构制造
National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology, Key Laboratory for Thin Film and Microtechnology of Ministry of Education, Institute of Micro/Nano Science and Technology, Shanghai Jiao Tong University, PR China;
UV-LIGA; bulk silicon micromachining; 3-D-microfabrication; SU-8 removal; PETG;
机译:结合体硅微加工和UV-LIGA技术制造的空心金属微针
机译:使用UV-LIGA表面微加工和(110)硅块体微加工的高纵横比梳齿执行器
机译:基于散硅微机械加上灰度光刻的MEMS微镜的制造
机译:在标准硅衬底中制造二级MEMS的体微加工技术
机译:批量微机械质量气流传感器的制造和测试方法,用于本科学历的微制造课程。
机译:在体微机械加速度计中模拟掺硼硅的微结构曲率
机译:用于在标准硅衬底中制造两级mEms的批量微加工技术
机译:多层多晶硅表面微加工技术的制造方法