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机译:用于高性能金属-绝缘体-金属电容器集成的新型镶嵌结构
STMicroelectronics, 850 Rue Jean Monnet, 38926 Crolles Cedex, France;
MIM capacitor; integrated passive; damascene architecture; thin Si_3N_4 films;
机译:用于金属-绝缘体-金属电容器的新型Cu / SiN / TaN / Cu镶嵌结构的表征和优化
机译:遵循与铜互连兼容的3D镶嵌架构,集成了高密度Ta_2O_5 MIM电容器
机译:不同介电材料在设计高性能金属-绝缘体-金属(MIM)电容器中的作用
机译:用于混合模式和RF应用的0.13 / splμm/ m铜双镶嵌金属化工艺中的两种金属-绝缘体-金属电容器方案的特性与比较
机译:具有明显电气长度的金属-绝缘体-金属(MIM)电容器的模型级简化方法。
机译:设计均匀的FeTiO3组件该组件由能够实现高性能准固态钠离子电容器的纳米微粒组成
机译:Si:SrTiO3-Al2O3-Si:SrTiO3多介电结构,用于金属-绝缘体-金属电容器应用