机译:电容耦合等离子体源在高深宽比接触孔蚀刻中的轮廓控制
ProMOS Technologies Inc., Hsinchu, Taiwan;
high aspect ratio; contact hole etching; vertical profile; capacitively coupled plasma;
机译:磁感应耦合等离子体中高纵横比接触孔的反应性离子刻蚀滞后研究
机译:直流增强电容耦合等离子体中的高能电子通量。二。高纵横比电介质蚀刻对扭曲的影响
机译:含UFC和PFC的等离子体中高纵横比接触孔蚀刻的比较研究
机译:通过双频电容耦合等离子体氧化物蚀刻器自对准触点蚀刻的193nm ARF光致抗蚀剂的变形
机译:用蚀刻和沉积法对二氧化硅接触孔的等离子体蚀刻轮廓进行建模。
机译:电容耦合等离子体电极上的电压分布用于产生大气压等离子体
机译:Cl2,Cl2 / O2和Cl2 / N2电感耦合等离子体工艺刻蚀InP中高纵横比光子晶体孔的比较研究