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机译:利用纳米压印光刻技术制造高分辨率光学编码器的新方法
Fundacion Tekniker, Avda. Otaola, 20, 20600 Eibar, Guipuzkoa, Spain;
nanoimprint lithography; optical encoders; dimensional metrology;
机译:树脂模具的高分辨率UV卷对卷纳米压印,随后通过热纳米压印光刻复制
机译:通过压印光刻技术制造的线性光学编码器
机译:具有改进的可制造性的光刻技术中的分辨率增强优化方法
机译:用于大批量制造纳米压印光刻系统的掩膜(TTM)光学对准
机译:基于微镜阵列的高分辨率光学无掩模光刻。
机译:全氟聚醚(PFPE)中间模具用于高分辨率热纳米压印光刻
机译:高批量半导体制造的纳米压印光刻状态