机译:异形光束写入器直接与互补曝光的CD控制及其与局部配准误差的关系
Qimonda Dresden GmbH & Co. OHG, Dresden, D-01099, Germany;
e-beam direct write; direct exposure; complementary exposure; resist; registration error; CD; variable shaped beam;
机译:恐怖主义,困扰和应对:高影响区与低影响区以及直接与间接平民接触
机译:基于14例前列腺癌患者的分形内定位误差分析计划目标体积裕量的验证,基于计划CT和体积分数锥束CT的前列腺CT图像在体积调制电弧治疗期间的三维互相关
机译:基于14例前列腺癌患者的分形内定位误差分析计划目标体积裕量的验证,基于计划CT和体积分数锥束CT的前列腺CT图像在体积调制电弧治疗期间的三维互相关
机译:电子束直接写入器和11nm节点的间隔DP工艺的互补构图演示
机译:在任意形状的局部照度变化下进行图像配准。
机译:基于14例前列腺癌患者在体积调制电弧治疗过程中计划CT的前列腺图像与分数阶锥形束CT的三维互相关分析通过分析分数内定位误差验证计划目标容限
机译:恐怖主义,苦难和应对:高影响区与低影响区以及直接与间接平民接触