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机译:使用自对准多个图案和拼接技术的随机二维布局分解和合成
Peking Univ, Shenzhen Grad Sch, Sch Elect & Comp Engn, Shenzhen 518055, Peoples R China;
Peking Univ, Shenzhen Grad Sch, Sch Elect & Comp Engn, Shenzhen 518055, Peoples R China;
Peking Univ, Shenzhen Grad Sch, Sch Elect & Comp Engn, Shenzhen 518055, Peoples R China;
Self-aligned multiple patterning; Layout decomposition and synthesis; Stitching;
机译:低于10nm节点设计的二维随机金属的自对准双图案布局分解
机译:防重叠自对准双图案(SADP)布局分解的多项式时间精确算法
机译:双重图案布局分解,可同时实现冲突和针迹最小化
机译:突破一维布局限制并重新获得二维设计自由第一部分:混合光学和自对准多重图案的二维布局分解和拼接技术
机译:三重图案光刻的版图分解。
机译:使用自对准和激光干涉光刻技术制造的多栅极ZnO金属氧化物半导体场效应晶体管的性能增强
机译:双重图案布局分解同时冲突和缝合最小化