Materials for Advanced Metallization 2014 (MAM 2014) A Microelectronic Engineering Open Special Focused Issue including selected papers from the 23rd European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2014 (Chemnitz, Germany, March 2-5, 2014) Preface

著录项

• 来源
  《Microelectronic Engineering》 |2015年第4期|VII-VII|共1页
• 作者

  Schulz Stefan E.; Hecker Michael; Koerner Heinrich; Wolf Hermann;

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• 作者单位

  Tech Univ Chemnitz, Chemnitz, Germany;

  GLOBALFOUNDRIES, Dresden, Germany;

  Infineon Technol AG, Munich, Germany;

  Fraunhofer Inst Elect Nano Syst, Chemnitz, Germany;

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• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

• 入库时间 2022-08-18 01:27:03