机译:电子束光刻纳米加工及其应用研究进展
Fudan Univ, Sch Informat Sci & Engn, Nanolithogrophy & Applicat Res Grp, State Key Lab ASIC & Syst, Shanghai 200433, Peoples R China;
Nanofabrication; Electron beam lithography; Nanostructure; Nanoelectronics; Nanophotonics; Metamaterial;
机译:聚焦氦离子光束光刻的3D容量能量沉积:纳米制备的可视化,建模和应用
机译:使用离子束光刻技术,对用于软X射线和极紫外应用的衍射元件进行纳米加工
机译:点电子束光刻技术作为高分辨率图案纳米加工的新方法
机译:点电子束光刻作为一种高分辨率图案纳米制作的新方法
机译:通过新型纳米加工技术实现的分层多位簇和图案化介质-高分辨率电子束光刻和嵌段聚合物自组装。
机译:电子束和光学光刻技术在医药领域的聚乙二醇水凝胶结构的制备
机译:电子束光刻技术的纳米加工:新型抗蚀剂及其应用