机译:等离子体处理与沟槽隔离技术相结合,可实现基于聚对二甲苯的高纵横比微结构的大开口
Department of Mechanical and Automation Engineering, National Kaohsiung First University of Science and Technology, No. 2 Jhuoyue Rd., Nanzih, Kaohsiung, Taiwan, ROC;
Department of Mechanical and Automation Engineering, National Kaohsiung First University of Science and Technology, No. 2 Jhuoyue Rd., Nanzih, Kaohsiung, Taiwan, ROC;
Bulk micromachining; Comb-drive actuators; Deep reactive ion etching (DRIE); High aspect ratio structure (HARS); Inductively coupled plasma (ICP);
机译:先进的等离子体处理技术与沟槽隔离技术相结合,可在标准硅片中制造高纵横比的MEMS并快速制作原型
机译:65nm以下低功耗互补金属氧化物半导体技术通过优化浅沟槽隔离工艺来改善浅沟槽隔离应力
机译:65nm以下低功耗互补金属氧化物半导体技术通过优化浅沟槽隔离工艺来改善浅沟槽隔离应力
机译:适用于0.13μmCMOS技术的稳健的浅沟槽隔离高密度等离子体化学气相沉积无空隙工艺
机译:开发制造高长径比的聚对二甲苯微结构的方法。
机译:利用最优的RNA分离过程与SPIA cDNA探针相结合的最小输入RNA的基于全局阵列的转录组学
机译:单片高纵横比嵌入式聚对二甲苯通道 ud技术:制造,集成和应用
机译:0.5微米浅沟槽211隔离技术中产量限制缺陷的识别