机译:基于环状低聚物的化学放大分子抗蚀剂的抗蚀性能研究
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, 8-7 Mihogaoka, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan;
Materials and Bioengineering, Kansai University, 3-3-35 Yamate-cho, Suita, Osaka 564-8680, Japan;
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, 8-7 Mihogaoka, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan;
Chemically amplified resist; Extreme ultraviolet; Molecular resist; Noria derivative; Calixarene derivative;
机译:193nm顶表面成像工艺的非化学放大抗蚀剂和化学放大抗蚀剂的光刻性能
机译:新型Noria(类似于水轮的环状低聚物)衍生物,是化学增强的抗极紫外(EUV)的材料
机译:一种新型的诺里亚(水轮状环状低聚物)衍生物作为化学放大的电子束抗蚀剂材料
机译:基于Noria衍生物和杯芳烃衍生物的化学放大分子抗蚀剂的抗蚀性能研究
机译:砷化镓晶片的表面化学研究在化学放大的抗蚀剂构图过程中进行,并通过荧光进行抗蚀剂研究。
机译:基于纳米复合材料的柔性超灵敏电阻式气体传感器用于化学反应研究
机译:基于环状低聚物的化学放大分子抗蚀剂的抗蚀性能研究
机译:抗蚀剂材料设计:碱催化化学扩增。