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机译:在原子层沉积的HfAlOx栅极电介质中通过调制Al2O3成分来改善后栅极FDSOI隧道场效应晶体管(TFET)的性能
Hanyang Univ, Div Mat Sci & Engn, Seoul 04763, South Korea;
Hanyang Univ, Div Mat Sci & Engn, Seoul 04763, South Korea;
Hanyang Univ, Div Mat Sci & Engn, Seoul 04763, South Korea;
TFET; Subthreshold swing; Hafnium aluminum oxide; Atomic layer deposition;
机译:具有原子层沉积HfAlOx栅极电介质的(NH4)(2)S-x钝化GaN MOS器件的抑制电荷俘获特性
机译:带有原子层沉积栅极氧化物的InGaAs隧穿场效应晶体管
机译:InAs插入InGaAs埋层沟道金属氧化物半导体场效应晶体管,具有原子层沉积的栅极电介质
机译:原子层沉积的超薄氮化硅栅电介质-亚隧道栅电介质的更好选择
机译:用于高k电介质和存储器应用的原子层沉积Al2O3和TiO2
机译:理想原子层沉积Al2O3隧道开关层改善了掺Mg的LiNbO3薄膜的铁电性能
机译:通过理想的原子层沉积的Al2O3隧道开关层改善了Mg掺杂的LiNBO3薄膜的铁电性能
机译:用于射频mEms电容开关的替代介电薄膜,使用原子层沉积的al2O3 / ZnO合金沉积