机译:电子束抗蚀剂中低能电子扩散散射的解析模型
Low-energy electron-beam lithography; Electron energy dissipation model; Diffusive scattering model;
机译:通过低能电子束直接写入在硅衬底上直接制作热稳定氧化物图形的高灵敏度无机抗蚀剂
机译:低能电子束邻近投影光刻中的分辨率限制因素:掩模,投影和抗蚀剂工艺
机译:PMMA抗蚀剂的gan螺纹位错附近的阴极发光发射的三维电子能量沉积模型和电子束光刻曝光参数
机译:不同型号电子束能量沉积诱惑软件模拟抗蚀剂加热
机译:与分子和团簇的低能电子相互作用:电子诱导的质子转移,溶剂化电子和扩散电子态。
机译:海藻糖糖醇抗性可通过电子束光刻直接写入蛋白质图案
机译:Xe对低能电子的热扩散散射
机译:Xe低能电子的热扩散散射。