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机译:使用嵌入的氧化氧化物沟槽的热致动的热致动的内面谐振气体传感器的温度补偿
Georgia Inst Technol Sch Elect & Comp Engn Atlanta GA 30332 USA|Georgia Inst Technol Inst Elect & Nanotechnol Atlanta GA 30332 USA;
Georgia Inst Technol Sch Elect & Comp Engn Atlanta GA 30332 USA|Georgia Inst Technol Inst Elect & Nanotechnol Atlanta GA 30332 USA;
Naval Submarine Med Res Lab Groton CT 06349 USA|Emory Univ Sch Med Dept Surg Atlanta GA 30322 USA;
Resonators; Temperature sensors; Gas detectors; Resonant frequency; Silicon; Temperature; Resonant gas sensor; thermal compensation; compensated resonator; thermally compensated gas sensor; cantilever gas sensor;
机译:基于人工神经网络的MEMS电热激励谐振压力传感器温度补偿方法
机译:具有温度补偿的电热激发双光束硅谐振压力传感器
机译:具有温度补偿的电热激发双光束硅谐振压力传感器
机译:热激发Si谐振压力传感器温度漂移补偿技术
机译:热激励共振硅晶体纳米天平。
机译:基于差分输出的温度补偿方法和温度传感器的谐振压力微阻
机译:热驱动压阻谐振MEMS悬臂传感器的相位优化
机译:适用于石英体声波化学传感器的谐振传感器的自洽温度补偿