机译:压电隔膜谐振器中高信号谐振器的完全差异驱动和感应
Indian Inst Sci Ctr Nano Sci & Engn Bengaluru 560012 India;
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Fully differential; self-sensing PiezoMEMS actuator; piezoelectric diaphragm;
机译:可调谐MEMS悬臂谐振器通过电热驱动和压电感应
机译:电热致动且压电感应的碳化硅可调MEMS谐振器
机译:具有电热驱动和压电感应功能的可广泛调谐的MEMS环形谐振器,适用于滤波应用
机译:使用差模操作的热激励和压阻感测CMOS-MEMS谐振器阵列
机译:锆酸钛酸铅薄膜,用于压电激励和MEMS谐振器传感。
机译:基于静电梳状驱动和压阻感测侧向谐振器的谐振压力传感器
机译:可调谐的mEms悬臂谐振器通过电热驱动和压电传感
机译:光学和压电传感声发射信号的比较。