Moving physical failure analysis from the lab to the fab

Rainer Weiland; Wolfgang Tittes; Infineon Technologies; Jim Jackman

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Moving physical failure analysis from the lab to the fab

机译：将物理故障分析从实验室转移到晶圆厂

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A contamination risk assessment has revealed that dual-beam instruments can be safely integrated into production lines, thereby shortening analytical and process development cycles. rnSemiconductor fabrication is a highly complex operation that may include hundreds of interactive processes, each of which must function within a tightly defined operational window.

机译：污染风险评估表明，双光束仪器可以安全地集成到生产线中，从而缩短了分析和工艺开发周期。半导体制造是一个高度复杂的操作，可能包括数百个交互过程，每个过程必须在严格定义的操作窗口内起作用。

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来源
《Micro》 |2001年第9期|57-5962-64|共页
作者
Rainer Weiland; Wolfgang Tittes; Infineon Technologies; Jim Jackman;
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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
原文格式 PDF
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入库时间 2022-08-18 00:11:07

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