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机译:基于5-DOF柔性的纳米定位阶段的动态分析
Hunan Univ Sci & Technol Hunan Prov Key Lab Hlth Maintenance Mech Equipmen Xiangtan 411201 Hunan Peoples R China;
Huazhong Univ Sci & Technol State Key Lab Digital Mfg Equipment & Technol Wuhan 430074 Hubei Peoples R China;
Hunan Univ Sci & Technol Hunan Prov Key Lab Hlth Maintenance Mech Equipmen Xiangtan 411201 Hunan Peoples R China;
Hunan Univ Sci & Technol Hunan Prov Key Lab Hlth Maintenance Mech Equipmen Xiangtan 411201 Hunan Peoples R China;
机译:5自由度基于挠曲的纳米定位平台的动态分析
机译:基于5-DOF柔性的纳米定位阶段的动态分析
机译:基于XY弯曲的紧凑纳米定位阶段,用于扫描探针显微镜(SPM)
机译:基于屈曲的新型5自由度纳米定位平台的设计
机译:基于范围的双级系统控制:用纳米定位阶段的应用设计与分析
机译:一种新型挠性动态可动纳米定位器的设计与分析
机译:用于卷对卷印刷电子的新型基于5自由度弯曲的复合对准平台的设计