机译:AFM与斜率补偿技术一起用于微结构表面的高速精密测量
Nano-metrology and Control Laboratory, Graduate School of Engineering, Tohoku University, Aramaki Aza Aoba 6-6-01, Sendai, 980-8579 JAPAN;
microano-metrology; AFM; constant-height mode scan; slope compensation; micro-structures;
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