机译:使用Pt(PF3)(4)电子束诱导铂膜的初始生长
Univ Texas, Texas Mat Inst, Ctr Mat Chem, Austin, TX 78712 USA;
INDUCED DEPOSITION; FOCUSED ION; FABRICATION;
机译:低能电子诱导的四(三氟膦)铂[Pt(PF3)4]吸附分解反应
机译:电子束诱导从Pt(PF3)(4)沉积低电阻率铂
机译:铟锡合金薄膜的电子束辐照诱导相变,光吸收和表面增强拉曼散射
机译:比较STEREO-LID(时空分辨光学激光引起的损伤)研究IBS,ALD和电子束涂层介电膜中的关键缺陷分布
机译:钇钡氧化铜薄膜生长初期阶段的微观结构表征:晶格匹配和非晶格匹配生长的比较。
机译:聚焦电子束诱导沉积中的原位生长优化
机译:通过电子束诱导的无碳前驱体Pt(PF3)4沉积而沉积的铂互连的电性能