Patent Issued for MEMS Device and Method of Fabricating the Same

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Patent Issued for MEMS Device and Method of Fabricating the Same

机译：为MEMS装置颁发的专利及其制造方法

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2013 MAR 20 (VerticalNews) -- By a News Reporter-Staff News Editor at Journal of Engineering -- Anpatent by the inventor Huang, Herb He (Shanghai, CN), filed on May 27, 2010, was cleared and issuednon March 5, 2013, according to news reporting originating from Alexandria, Virginia, by VerticalNewsncorrespondents.

机译：2013年3月20日（垂直新闻）-由《工程学杂志》的新闻记者-工作人员新闻编辑-由发明人黄浩（2010年5月27日提交）的发明人赫伯·赫（中国上海）的专利被清除并于3月5日发布根据垂直新闻社记者来自弗吉尼亚州亚历山大市的新闻报道，2013年。

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来源
《Journal of Engineering 》 |2013年第12期| 1-4| 共4页
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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
Silicon; Chalcogens; Semiconductor; Shanghai Lexvu Opto Microelectronics Technology Co. Ltd..;

机译：硅;硫属元素;半导体;上海Lexvu光电微电子技术有限公司;

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