机译:等离子体化学用于开发新型材料
Saitama Institute of Technology, 1690 Fusaiji, Okabe, Saitama 369-02 Japan;
Plasma chemistry; nonequilibrium discharge; organic plasma reactions; plasma-liquid interaction;
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机译:使用电感和电容耦合的碳氟化合物放电对电介质材料进行等离子蚀刻:表面化学机理的研究。
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