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机译:腔频移数据的等离子体电子密度分布
机译:Ar / CF4和Ar / O2 / CF4放电的双频电容耦合等离子体中电子密度和离子能量分布的实验研究
机译:Ar / CF_4和Ar / O_2 / CF_4放电的双频电容耦合等离子体中电子密度和离子能量分布的实验研究
机译:使用循环C_4F_8 / N_2 / Ar气的直流叠加双频等离子刻蚀反应堆中电子,CF和CF_2自由基密度和气体温度的空间分布
机译:等离子体处理中电子密度,等离子体电势和电子能量分布的频率探针测量
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:推断垂直等离子漂移中使用的峰值电子密度(hmF2)数据集的F2层高度–最佳拟合数据
机译:电子密度测量静电,球形对称,氦等离子体使用微波腔共振换档技术