机译:初始入射角为法向的硅离子注入使最初〈100〉织构化多晶硅膜的低温晶粒生长
机译:垂直和倾斜角离子注入对多晶硅膜的面内晶粒取向排列
机译:薄膜晶体管特性对(100)取向多晶硅薄膜低角度晶界的依赖性
机译:准分子激光溅射非晶硅膜的准分子激光结晶工艺,温度为100℃,制备了大型多晶硅晶粒
机译:大量植入多晶硅薄膜中硼扩散的谷物效果的生长
机译:非均匀性对多晶硅硅薄膜(多晶硅,晶界,分布函数,掺杂曲线,TEM)中电阻率建模的影响。
机译:使用H2烧结改善低温多晶硅薄膜晶体管传感器的pH敏感性
机译:在低温钠钙玻璃上生长用于太阳能电池的大晶粒多晶硅薄膜
机译:超薄(<100nm)硅薄膜中表面能驱动的二次晶粒生长