机译:自交联底部抗反射涂层和间隙填充材料在ArF光刻中降低升华缺陷的研究
Electronic Materials Research Laboratories, Nissan Chemical Industries, Ltd., 635 Sasakura, Fuchu-machi, Toyama 939-2792, Japan;
BARC; gap fill materials; defect reduction; sublimate reduction; dual damascene; iso-dense thickness bias;
机译:ArF光刻中使用糊精衍生物的高蚀刻速率底部抗反射涂层和间隙填充材料的研究
机译:六甲基二硅氧烷薄膜作为ArF准分子激光光刻的底部抗反射涂层
机译:ArF光刻中使用环糊精衍生物的间隙填充材料
机译:通过首次双镶嵌光刻工艺,使用糊精衍生物的高蚀刻速率底部抗反射涂层和间隙填充材料
机译:用于保护热电材料免受升华和氧化的聚合物涂层的设计
机译:绿色高粘土填充聚乙烯复合材料作为电缆行业的涂料—非有机化天然蒙脱土在聚合物材料中的新应用途径
机译:含有用于KRF激光光刻的新型发色团的新型抗反射涂层材料。
机译:单层193nm光刻反射涂层的材料评价