机译:高介电常数氧化铈,其通过分子束沉积作为栅极电介质和钝化层而制备,并应用于AlGaN / GaN功率高电子迁移率晶体管器件
Natl Chiao Tung Univ, Dept Mat Sci & Engn, Hsinchu 30010, Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ, Inst Imaging & Biomed Photon, Tainan 71150, Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ, Dept Mat Sci & Engn, Hsinchu 30010, Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ, Dept Mat Sci & Engn, Hsinchu 30010, Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ, Dept Mat Sci & Engn, Hsinchu 30010, Taiwan;
Tokyo Inst Technol, Dept Elect & Appl Phys, Yokohama, Kanagawa 2268502, Japan;
Tokyo Inst Technol, Dept Elect & Appl Phys, Yokohama, Kanagawa 2268502, Japan;
Natl Chiao Tung Univ, Dept Mat Sci & Engn, Hsinchu 30010, Taiwan|Natl Chiao Tung Univ, Dept Elect Engn, Hsinchu 30010, Taiwan;
机译:AlGaN / GaN金属-氧化物-半导体高电子迁移率晶体管中作为栅极电介质的氧化镓膜的原子层沉积
机译:在具有光增强化学和等离子体增强原子层沉积氧化物的倒梯形三栅极AlGaN / GaN MOS高电子迁移率晶体管中,由栅极面积和栅极凹槽控制的阈值电压
机译:结合等离子体增强原子层沉积栅极电介质和原位SiN覆盖层,可降低200mm Si衬底上AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管的阈值电压漂移和动态导通电阻色散
机译:AlGaN / GaN金属氧化物半导体高电子迁移率晶体管的材料和器件表征用反应溅射HFO {Sub} 2栅极电介质
机译:在AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管上进行等离子增强化学气相沉积的氮化硅钝化的热稳定性。
机译:AlGaN / GaN金属-氧化物-半导体高电子迁移率晶体管中作为栅极电介质的氧化镓膜的原子层沉积
机译:AlGaN / GaN金属-氧化物-半导体高电子迁移率晶体管中作为栅极电介质的氧化镓膜的原子层沉积