机译:在半导体晶圆厂中基于传送带的自动材料处理系统中优化交叉点的位置
Department of Industrial and Systems Engineering, Texas A&M University, College Station, TX 77843, USA;
Department of Industrial and Systems Engineering, Texas A&M University, College Station, TX 77843, USA;
Department of Industrial Engineering, University of Puerto Rico-Mayaguez, Mayaguez, PR 00681, USA;
Department of Industrial Engineering and Management Systems, University of Central Florida, Orlando, FL 32816, USA;
Ingram School of Engineering, Texas State University-San Marcos, San Marcos, TX 78666, USA;
wafer fabrication; AMHS; conveyors; analytical models; heuristics; crossovers; facility design;
机译:半导体晶圆厂中基于传送带的带有交叉的物料处理系统的分析模型
机译:半导体晶圆制造系统自动材料处理系统的性能分析模型
机译:使用统一设计和神经网络对半导体晶圆制造中的自动材料处理系统进行仿真元模型开发
机译:晶圆厂建模的输送机自动材料处理系统研究综述
机译:基于Holonic的控制系统,用于自动化物料搬运系统。
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机译:基于输送机的自动化物料搬运系统模型研究