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机译:基于仿真的杰尔系统晶圆制造厂减少周期时间成本的评估—案例研究
Georgia Institute of Technology, 765 Ferst Dr., Atlanta, GA 30331, USA;
cycle time; factorial design; operating characteristics curves; investment evaluation;
机译:半导体晶片制造设备中用于加速基于仿真的实时调度的简化方法
机译:半导体晶圆制造厂的启发式调度策略:最小化周期时间的变化
机译:具有多个晶片重访时间的用于晶片制造工艺的双臂集群工具的周期分析
机译:减少晶圆制造厂的平均周期时间
机译:生命周期评估和生命周期成本:实施案例研究的框架,重点关注住宅供暖系统。
机译:晶圆制造行业设施中各种化学物质的定量暴露评估
机译:晶圆制造设施中基于智能模拟的照相光刻工具批量调度