製造プロセスとは

摘要

LSIは，写真印刷と同様の技術でシリコンのウェハ上に集積回路を形成していきます．その際の加工方法を製造プロセスといいます．製造プロセスは65nmとか，40nmという長さで表されます．これは集積回路を形成するときの最小加工寸法を示します．これをプロセス?ルールと呼びます．プロセス?ルールが小さいほど，トランジスタのサイズが小さく集積度が高いことを意味します．