机译:机械驱动的60 GHz全MEMS天线平台
Material and Device Research Center, Samsung Advanced Institute of Technology, Yongin, Korea;
Beam steering; RF antenna; magnetically driven antenna; silicon grid; stress barrier pattern; vertical monolithic microwave integrated circuit (MMIC) integration;
机译:具有可变频率,带宽和天线增益的智能机械驱动两层电磁耦合微带天线
机译:电磁驱动的两轴光束转向MEMS镜及其致动对磁场的依赖
机译:新型基于MEMS的磁驱动光开关的光学和机械性能
机译:用于矢量扫描镜的磁力驱动执行器
机译:基于MEMS(微电子机械系统)的微流体平台,用于磁性细胞分离。
机译:用于光开关的MEMS电磁摆型执行器的设计和制造
机译:错误:电磁驱动的双轴光束转向MEMS镜像镜像镜像对磁场上的致动依赖性,第94卷,第2011,12010页,第24-31页
机译:使用微机电系统(mEms)执行器的偏振可重构贴片天线