磁気ヘッドのESD現象とESD佗MIコントロール

摘要

ESD(Electro Static Discharge) Phenomena of GMR head was explained. It includes ①Break down, ②Melting, ③Pin reverse,④Free layer damage and ⑤Field Emission. And, ESD/EMI control activity by E-PCOT is reported.%大容量ストレージ技術を支えるナノデバイスであるGMR（Giant Magneto Resistive）ヘッドのESD／EMI現象の検討を行い，次の破壊モードを明らかにした．①絶縁破壊，②発熱溶融，③発熱と磁界によるピン反転，④自由層ダメージ，⑤フィールドエミッション現象．また，E－PCOT（ESD Protection committee of Tbmorrow）でのESD／EMIコントロール活動について報告する．