斜め入射光学系を用いたHDDスライダ浮上量の高精度測定技術に関する検討

摘要

Finding a method of accurately measuring ultra-low flying heights (FH) of an HDD slider is becoming more and more important. We have developed a way of using a specular optical system to measure the FH to a high level of accuracy. While the basic method is to measure the height of a slider flying over a bare glass disk, this method can also be used to measure one flying over a glass disk with a overcoat (OC) and a lubricant agent (Lube) and thus to observe the touch down (TD) or the take off (TO) behavior. We theoretically investigated the effect of the OC and the Lube layer on the accuracy of the measurement and a method to compensate for their effect. With this compensation, we could measure the FH using a glass disk with OC and Lube.%近年、高精度なHDDスライダの極低浮上量測定技術より重要になってきている。我々は、斜め入射光学系を用いた浮上量測定技術を開発した。本技術は基本的にガラス媒体上に浮上したスライダの浮上測定を行うものであるが、実媒体に近い潤滑/保護膜付ガラス媒体上の測定に応用することが可能であり、ヘッドとディスクの接触事象としてTouch DownやTake Offの振舞を観測することができる。我々は潤滑/保護膜が浮上量測定に与える影響について理論的に検討し、補正手法を確立した。本手法を用いて潤滑/保護膜付媒体において浮上量測定を行い、妥当性を検証した。