マルチチップ集積PLCモジュールにおけるチップ接続構造信頼性試験

摘要

Recently improvement of photonic network systems require high performance functional optical devices. We have been developed PLC multi-chip integration technologies which are combining PLC's with multiple functions to realize multiple functional optical devices with a high performance and cost effectiveness. To apply PLC multi-chip integration module to practical use, it is necessary to have stability with chip-to-chip connection especially. Therefore reliability test of PLC multi-chip integration module is needed to confirm module reliability. In this paper, we describe some reliability test and long term reliability test of PLC multi-chip integration module and their results. And we report PLC multi-chip integration module have superior reliability in practical use confirmed by the test results. Besides we researched PLC multi-chip integration module with larger PLC chip and tested them for long term liliabirity. We also report PLC multi-chip integration module with larger PLC chip have reliability sufficiently.%最近の光ネットワークの高度化に伴い，これに使われるROADMなどの光機能回路の高性能化が求められている．高性能な多機能光デバイスを低コストで実現するため，我々は異なる機能のPLC光回路を組み合わせた，マルチチップ集積PLC技術の開発を進めてきた．同技術によるマルチチップ集積PLCモジュールの実用化のためには，特にチップ接続部分の安定化が必要でモジュール信頼性の確認が必要であった．今回，マルチチップ集積PLCモジュールの各種信頼性試験と長期信頼性試験を行い，実用上問題ない信頼性を有することが確認できたので報告する．また，PLCチップを大型化したマルチチップ集積PLCモジュールの長期信頼性試験を行い，チップを大型化したモジュールについても十分な信頼性を持つことを確認したので報告する．