IMID/IDRC2008報告会（1）IMID：TFT Technologies

摘要

This article reports on the TFT technologies, excluding the TFTs on flexible substrate and organic TFTs, presented in IMID 2008. Reliability is the keyword for this year's TFT technologies in IMID. In polycrystalline TFT, the reliability related to short-channel TFTs and circuit integrations is reported. In the AM-OLED, the reliability of OLED material itself and the reliability of the driving TFTs, such as amorphous silicon TFTs or oxide TFTs, are equally reported. It's particularly worth noting that the reliability of the oxide TFTs is widely reported in this year's IMID.%IMID 2008のTFT技術のうちフレキシブル基板上のTFTと有機TFTを除く技術に閲し報告する。今年のキーワードぽ”信頼性”である。ポリシリコンTFTでは微細化・高集積化に伴う信頼性が報告された。AM-OLEDでは有機EL材料の信頼性とそれを駆動するためのTFT（アモルファスシリコンTFTや酸化物TFT）の信頼性が取り上げられている。今年のIMIDでは、酸化物TFTでの信頼性が広く論じられるようになった点が特筆される。