［招待講演］弾性表面波研究からラム波研究への道

摘要

The author was engaged in the research on a nonlinear phenomenon of the surface acoustic wave, and clarified ten kinds of nonlinear phenomena. In addition, Ta_2O_5 piezoelectric thin film that was a new ferroelasticity and ferroelectricity crystal was discovered. Afterwards, the Lamb wave type elastic wave device substrate of the super-high stability frequency temperature characteristic was discovered. The opinion is expressed about the attitude to the experience and the research obtained by the process from the elasticity surface wave research to the ram wave research.%弾性表面波の非線形現象に関する研究に入ったのが今から約40年前でした．爾来，筆者は弾性表面波の非線形現象に関する研究に従事し，10種の非線形現象を解明した．さらに，新しい強誘電強弾性体であるTa_2O_5圧電性薄膜を発見した。その後，リニア型高速熱処理法の確立，SAWアシストによる薄膜位相格子の作成などを経て，超高安定周波数温度特性のラム波型弾性波素子基板の発見を行った．弾性表面波研究からラム波研究にいたる過程で研究上得た経験や研究に対する考え方などについて持論を述べる．