フレキシブルディスプレイ作製に向けた転写技術の開発

摘要

We have developed a transfer technology to fabricate a flexible organic TFT (OTFT) backplane for a large-area and high-resolution flexible display. The OTFT backplane, which was formed on a glass substrate with a temporary adhesive layer, was composed of gate electrodes, polymer gate dielectrics, source/drain electrodes, an organic semiconductor layer and pixel electrodes. After formation of passivation layer and bonding of a plastic film on the surface of the backplane, it was peeled off the glass substrate. The electrical characteristics of the OTFT backplane were evaluated, before and after the backplane was transferred. We have confirmed that a transfer technology is effective in fabricating flexible displays.%大画面・高精細なフレキシブルディスプレイを実現するため，ガラス基板上へ形成した有機TFT画素回路をプラスチックフィルムへ写し取る転写法の開発を進めている．この作製方法では，耐熱性，基板伸縮，耐溶剤性など，ディスプレイをプラスチックフィルム上へ直接形成する際に生じる主要な課題を克服できる可能性がある．今回，剥離できる層を形成したガラス基板上に有機TFT画素回路を作製し，プラスチックフィルムに転写を行った．また転写前後の基板の表面状態や有機TFTの電気的特性を評価することにより，転写法の有効性を確認した．