水中用小型振動計測センサユニットの試作

摘要

An reflection type optical displacement sensor unit for underwater use was developed to realize simultaneous multi-point measurements of the vibrating underwater object for visualization of its vibration distribution as a 3D animation. Optical design of the previously developed sensor used in the air was modified for underwater use. The housing of the sensor unit was waterproofed. And, by redesigning its electronic circuit, its frequency band-width was expanded up to 1 MHz, while its displacement resolution of 10 nm was same as that of the previous system.%水中の振動体を非接触で多点同時計測してその振動分布を3Dアニメーション表示として可視化するシステムの開発を目的とし，センサユニットの試作評価を行った.先に開発した空気中用光学式振動分布計測システムを基に，光学系を全面的に見直して水中用に設計し直すとともに防水加工を施し，また電子回路も改良した.試作したセンサは空気中用センサとほぼ同等の感度を実現し，さらに周波数帯域を従来の80kHzから1MHzまで拡張しつつ変位分解能は10nmと従来システムと同等の特性を維持している.