プリンタ用780nm帯40ch光書き込みVCSELアレイ

摘要

プリンタの書き込み光源として開発した780nm帯40チャンネル面発光型半導体レーザ（VCSEL：Vtrtical Cavity Surface Emitting Laser）アレイについて報告する．本VCSELアレイでは，多層膜反射鏡の一部に設けた放熱構造の採用により発熱による特性劣化を大幅に改善し，高出力での安定動作を実現した．また，信頼性に有利なAlフリー圧縮歪GaInPAs量子井戸活性層，傾斜基板，および異方性形状高次モードフィルターの採用により，酸化狭窄面積が50μm~2の素子において，3mW以上のシングルモード出力と偏光の単一方向制御とを同時に達成し，長期信頼性に優れた，高密度で高速書き込みが可能なプリンタの書き込み光源を実現した．%We report 780 nm range 40 channels vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) arrays which were developed for laser printers. We improved many laser characteristics such as maximum power, thermal cross talk and long-term reliability by reducing thermal resistance of a lower multi layer reflector. We achieved both high-power single-mode operation of over 3 mW and stable polarization characteristics up to oxide aperture area of 50 μm~2 using compressive-strained Al-free GaInPAs active layer, misoriented substrate, and anisotropic higher transverse mode filter.