局所領域における静電気の制御に関する研究: 静電気力顕微鏡を用いた帯電の観測

摘要

Static electricity is the cause of various problems, such as contamination and electrostatic discharge in the production process, and the influence is greater in microscopic area. The control of charge is very important because the electrification occurs in all materials. In this study, we report on the attempt of controlling electrostatics in the local area using the physical contact, the discharge during separation process and the electron beam.%静電気は生産プロセスにおいてコンタミネーションゃ静電気放電など様々な問題の原因となっており，特に微小スケールにおいてその影響は大きくなる.このような帯電現象はすべての材料において発生するため，その制御は極めて重要である.本研究では，μmオーダーの局所領域で，接触，剥離，電子ビームを用いた静電気制御の試みについて報告する.