レーザー生成高輝度放射光源開発研究の現状とその展望

摘要

EUV放射プラズマを具体例として，レーザープラズマ放射光源の特徴と物理を解説した。紙面の関係で割愛したが，光源実用化として重要である高繰り返し照射技術やデブリの発生と抑制に関する研究も進んでおり，EUV光源開発研究で培われた知見と技術が，従来の光源にない特徴を生かしたレーザープラズマ光源の新しい可能性を開拓しつつある。