Zerstörungsfreie und berührungslose Charakterisierung von Schichten mit Hilfe von Mikrowellen

摘要

Durch die Auswertung von reflektierten und transmittierten Strahlenanteilen von Mikrowellen lassen sich Schichten auf unterschiedlichen Werkstoffen bestimmen. Die Methode eignet sich vor allem zur On line-Kontroile. Neben der Schichtdicke können z. B. dielektrische Eigenschaften gewonnen werden oder die Schichten allgemein charakterisiert werden. Neben einer reinen Angabe über die Schichtdicke wird bei Zirkonoxid auf Stahl auch der Dickenverlauf über die untersuchte Fläche beispielhaft dargestellt.%By processing the reflected and transmitted components of radiated microwaves, coatings on a range of substrates can be characterised. The method is specially well-suited to on-line process control. In addition to yielding coating thickness data, information on, for example, dielectric properties can also be obtained or a more general characterisation of the coatings is possible. In addition to a straightforward description of coating thickness measurement, an example is quoted for zirconia coatings on steel for which coating thickness variations are demonstrated.