For certain applications, for example glass surfaces with reduced heat loss or anti-glare and reduced reflectivity, coatings with defined optical and electrical properties are called for. Most commonly employed for such purposes is indium oxide doped with tin (ITO) which is laid down as a film using reactive sputtering. The film properties can be monitored during the sputtering process in order to achieve the desired values.%Für bestimmte Anwendungen wie beispielsweise die Beschichtung von Glasflächen zur Wärmedämmung oder Reflexionsminderung werden Schichten mit definierten optischen und elektrischen Eigenschaften benötigt. Zur Anwendung gelangt zinndotiertes Indiumoxid, das durch reaktives Sputtern abgeschieden wird. Die Eigenschaften der Schicht werden während des Sputtervorganges verfolgt und an den geforderten Werten ausgerichtet.
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